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85%电子级磷酸

1.外观:无色透明或略带浅色稠状液体

2.质量技术指标(参照GB/T28159-2011)

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3.包装:35公斤塑料桶、330公斤塑料桶、IBC桶、ISO TANK。

4.用途:广泛应用于超大规模集成电路、大屏幕液晶显示器等微电子行业,主要用于芯片的湿法清洗和湿法蚀刻,包括基片涂胶前的清洗;光刻过程中的蚀刻及最终去胶;硅片本身制作过程中的清洗和绝缘膜蚀刻、半导体膜蚀刻、有机材料蚀刻等。